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发布日期:2018-12-14 00:00 来源:http://www.sonicvogue.com 点击:

  1、真空泵的作业压强应当满意真空设备的极限真空及作业压强请求。如:真空镀膜请求110-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度最少要510-6mmHg。一般挑选泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

  2、正确地挑选真空泵的作业点。每种泵都有必定的作业压强规模,如:分散泵为10-3~10-7mmHg,在这么宽压强规模内,泵的抽速随压强而改变,其安稳的作业压强规模为510-4~510-6mmHg。因此,泵的作业点应当选在这个规模之内,而不能让它在10-8mmHg下长期作业。又如钛提高泵能够在 10-2mmHg下作业,但其作业压强应小于110-5mmHg为好。

  3、真空泵在其作业压强下,应能排走真空设备技术进程中发生的悉数气体量。

相比较传统的康复练习.jpg

  4、正确地组合真空泵。因为真空泵有挑选性抽气,因此,有时选用一种泵不能满意抽气请求,需求几种泵组合起来,互相补充才干满意抽气请求。如钛提高泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有必定的抽速,两者组合起来,便会使真空设备得到较好的真空度。别的,有的真空泵不能在大气压下作业,需求预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需求前级泵,故都需求把泵组合起来运用。

  5、真空设备对油污染的请求。若设备严厉请求无油时,应当选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。假如请求不严厉,能够挑选有油泵,加上一些防油污染办法,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能到达清洗真空请求。

  6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒尘埃,有无腐蚀性等。挑选真空泵时,需求知道气体成分,对于被抽气体挑选相应的泵。假如气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应当考虑在泵的进气口管路上装置辅助设备,如冷凝器、除尘器等。

  7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响怎么。假如环境不允许有污染,能够选无油真空泵,或许把油蒸气排到室外。

  8、真空泵作业时发生的振荡对技术进程及环境有无影响。若技术进程不允许,应挑选无振荡的泵或许采纳防振荡办法。

  9、真空泵的报价、运转及维修费用。


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